84

Thermofisher Spectra 300

设备地点

负责人

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测试楼108

何洋

62333470

研究内容

1.材料微-纳-原子尺度高空间分辨、能量分辨结构和化学信息分析；
2.原位电子显微；
3.AI-TEM技术。

设备参数

超高亮度冷场发射电子枪X-CFEG，配备双球差校正器
TEM 信息分辨率：70pm @300KV，100pm @60KV，110pm @30KV
STEM分辨率：50pm @300KV，96pm @60KV，136pm @30KV
能量分辨率：< 0.35eV @ 300kV
Super-X一体化能谱仪EDS，固体角：0.7 srad
底插式快速CMOS成像系统OneView IS
Continuum ER/1065能量损失系统

85

Zeiss GeminiSEM 500 -扫描电子显微镜

设备地点

负责人

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测试楼105

薛润东

62333470

研究内容

高、低真空工作模式，用于形貌观察、能谱分析、失效分析等研究工作。

设备参数

Zeiss GeminiSEM 500的五轴样品台移动范围为：X=130mm, Y=130mm, Z=50mm,T=-3°to 70°, R=360°。

Zeiss GeminiSEM 500采用抽屉式样品室拉门，方便样品更换及大样品、形状复杂样品的观察，最大样品直径可达200mm以上；

Zeiss GeminiSEM 500具有330mm(￠)×270mm(h)的样品室，可以一次放入较多或较大的样品。

样品仓尺寸：Φ330mm×270mm

最大样品直径：200mm

二次电子分辨率：0.5nm@15kV，0.9nm@1kV, 1.0nm@500V

能谱仪能量分辨率：Mn Ka 优于 127eV

元素分析范围：Be4~Cf98

86

LEO1450扫描电镜及背散射取向分析系统

设备地点

负责人

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测试楼106

崔凤娥

62332084

研究内容

扫描电镜(LEO1450型)：二次电子像，背散射电子像（用于形貌分析）

能谱仪(NORAN SYSTEM 7)：可分析B、C、N、O等轻元素，能进行点分析、线扫描、面分布

EBSD(牛津INCA系统)：各种晶体材料的结构，取向的确定；取向成像，取向差，转轴分布；取向的极图，反极图，ODF表示。

扫描电镜(LEO1450型)，分辨率 3.5nm，加速电压：0.2~30 kV，能谱仪(NORAN SYSTEM 7)

可测原子序数B及以上元素，分辨率 Mnkɑ≤127eV，EBSD(牛津INCA系统) ，测定速度 400点/秒

87

ZEISS-EVO-18
扫描电子显微镜

设备地点

负责人

联系电话

测试楼105

薛润东

62333470

研究内容

扫描电镜：二次电子像，背散射电子像（用于形貌分析）；
能谱仪：可分析B、C、N、O等轻元素，进行点、线、面分析；同时获取10个以上不同元素的成分信息（线、面分析时），（用于成分分析）。

设备参数

分辨率: SE: 3.0nm BSD: 4.5nm

可变压力范围: 10~400Pa 放大倍数范围: 5~1,000,000x

加速电压: 200V~30kV 探针电流: 0.5 pA ~ 5mA

样品室尺寸: 365mm(φ)×275mm(h)

工作距离: 8.5mm~20mm 配备 X 射线能谱仪

样品台类型: 5轴马达驱动高精度样品台

行程: X,Y,Z(125mm,125mm,50mm),T=0~90°,R=360°

探测器类型：硅漂移探测器（电制冷） 分辨率：129eV

分析元素范围：Be4 - U92

显微分析处理器、配套计算机及全套分析软件

88

Regulus8100
冷场扫描电镜

设备地点

负责人

联系电话

测试楼106

崔凤娥

62332084

研究内容

扫描电镜（Regulus8100型）：二次电子像，背散射电子像。高、低电压高分辨成像（用于形貌分析）
能谱仪（Esprit Compact）：可分析B、C、N、O等轻元素，能进行点分析、线扫描、面分布

设备参数

扫描电镜（Regulus8100型）

分辨率 15KV：0.7nm； 1KV：0.8nm

能谱仪（Esprit Compact）

可分析元素范围：B~U 探测器面积 30mm2

分辨率 Mnkɑ≤127eV

89

高真空分析型扫描电镜

设备地点

负责人

联系电话

测试楼110

朱熠

62333794

研究内容

使用二次电子对样品表面形貌进行观察；使用背散射电子对样品表面成分特征进行观察；使用能谱仪对样品的成分进行定性及半定量分析。

设备参数

型　号：JSM-6510A

分辨率：3.0nm 加速电压：0.5kV-30Kv

放大倍数：×5~×30,0000 物镜光阑：3

90

高分辨透射电子显微镜

设备地点

负责人

联系电话

测试楼110

权茂华

62332150

研究内容

对各种材料的表面及内部进行综合形貌观察(TEM)，电子衍射（SAED）及高分辨电子显微术(HRTEM)分析，配合能谱仪可以对各种元素进行定性及半定量的微区点分析(EDS)。

设备参数

型　号：JEM-2010

点分辨率:0.19nm 最小束斑: 5nm

晶格分辨率:0.14nm 放大倍数: ×30~×1200,000

加速电压:200KV

另配备有Oxford Link X射线能量谱仪（元素检测范围Be~U，探测限为0.1%~0.5%，0.5wt%≤元素含量≤1wt%的元素，相对误差≤50％

单倾样品台和双倾样品台α±20°，β±18°

91

TECNAI F20场发射透射电子显微镜

设备地点

负责人

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测试楼109

白嘉伟

62333794

研究内容

可以在原子尺度的分辨率下对材料进行相貌、结构和相组织的观察与分析，以及大多数材料的微区化学成分的定性和定量检测。

设备参数

加速电压： 200KV

电子枪：肖特基场发射电子枪

分辨率：点分辨率：0.0204nm；

信息分辨率：0.24nm

放大倍数：TEM模式：60X~1000KX；

STEM模式：200X~100MX